Jmaterials社は韓国牙山市(アサン市)を拠点にしているCVD装置用のSi及びSiC加工メーカーで､韓国国内外の大手半導体メーカーにも豊富な納入実績があります。Si Ringの月間製造量は5,500pcs、Si Cathodeは200pcsになり、年々着実に生産可能数を拡大してきました。 Si及びSiC製品はお客様の要求に合わせてカスタマイズすることができます。
製品例
Si(シリコン、ケイ素)製品
Jmaterials社は機器メーカーの要求に応じて300件（Part Number）以上の実績があります。
Ring(下部)
■8インチ、12インチ、16インチの精密加工品で、プロセスチャンバーの下部に取り付けられ、プラズマを安定化させる役割を担っています。（半加工品および完成品の顧客ニーズに対応可能です）
■2022年に韓国の大手半導体メーカー最優秀Best Performerに選定
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| Focus Ring(フォーカスリング) | Edge Ring(エッジリング) | Insert Ring(インサートリング) | |||
Ring(上部)
■プロセスチャンバーの上部のカソードの外側に取り付けられ、固定および保護の役割を果たします。
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| Outer Ring(アウターリング) | Section Ring(セクションリング) | GND Ring(GNDリング) | |||
カソード( Cathode)
■プロセスチャンバーの上部に取り付けられ、プラズマを正確な位置に集める役割を果たします。
■φ0.35以上の微細な穴を形成することができ、DOD分析を用いて高品質な精密加工が可能です。
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| Type1 | Type2 | Type3 | |||
SiC(炭化ケイ素)製品
リング、サセプター
■SiC部品は高温に耐え化学的にも安定しています。リング、サセプター、ダミーウェハーなどの製品が供給可能です。
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| Ring(リング) | Susceptor(サセプター) | ||
SiCダミーウェハー
■用途：主にパワーエレクトロニクス半導体製造プロセスの開発や装置のテスト、品質管理。
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| Dummy Wafer(ダミーウェハー) |