石英製ウェハーボート／Quartz Boat

用途

ウェハーの工程内輸送・保管

半導体工場や研究室の工程内輸送・保管用途に使用されております。

写真は縦型3インチウエハー用に設計したものですが、大きさに合わせて設計可能です。また、横型の実績もございます。