用途

薬品を使って洗浄や除去を行います。

研究室などの小規模プロセスに最適な提案をさせていただきます。

要求仕様によっては既存の製品に手を加えて安価に提案することもできます。ウェハーキャリア倍ピッチ加工は角型の厚さのある基板用に改造しました。

PTFE製洗浄槽

ウエットプロセス用溶融石英ケース

石英ケース

使用例

半導体ウエットプロセス用テフロン洗浄フルイ

ウェハーキャリア倍ピッチ加工

半導体ウエットプロセス用3"用テフロンケース