商品紹介

プロービング作業

特徴

• ウェハ・プローブカード用の多機能マニュアルプローバーです。
• 最大6インチ（150mmφ）のサンプルに 対応した研究開発に最適なマニュアルプローバーです。
• プロービングに必要な機能のみに絞ったシンプルな機構により、信頼性の高いI-V /C-V測定を実施できる廉価なモデルです。
• ジョイスティック式マニピュレーター（別途オプション）を用いて直感的な移動操作が可能です。
• リングプレート上にジョイスティック式マニピュレーターが最大８台設置可能です。
• 別途、オプション品として、モニター表示、ヒートチャック、マニピュレーターステージのZ-UP機構、チャックステージのエアベアリング機構、チャックステージのZ及びθステージ、ジョイスティック式マニピュレーター、小型マニピュレーター、各種プローブ等をプラスする事でさらに使いやすくお好みの仕様にする事が可能です。

オプション品

ジョイスティック式マニピュレータ

小型マニピュレータ

ヒートチャック

プローブニードル