ウェハ研磨治具(石英製)

全体構成

加重棒

リング台座
概要
半導体ウェハ、ガラス基板などの表面研磨用で、手作業の最終仕上げに最適です。
ウェハ研磨治具(石英製)
型番 | 商品名 | サイズ(mm) | 価格 | 販売価格 | 納期 |
TSPJ-70-100 | 2インチウェハ用研磨治具 | リング台座:外径100x内径70xH30 加重棒 :外径70xH45 |
405,000 | 324,000 | 1.5ヵ月 |
3,4インチウェハ用もお見積もりいたします。
特徴
- 半導体ウェハ、ガラス基板などの表面研磨用で、手作業の最終仕上げに最適です。
- 不純物が少ない合成石英ガラス(純度6N:但しOH基を除く)材料を使用しております。
- 加重棒は上下面光学研磨仕上げで、平行度の精度は10ミクロン以下です。
- リング台座は上下面光学研磨仕上げで、底面は凹凸形状で研磨材の逃げ溝を設けてあります。
- 特殊サイズについても別途ご相談いたします