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ホーム > 製品情報 > ウェハ研磨治具(石英製)

ウェハ研磨治具(石英製)

全体構成

全体構成

加重棒

加重棒

リング台座

リング台座

概要

半導体ウェハ、ガラス基板などの表面研磨用で、手作業の最終仕上げに最適です。

ウェハ研磨治具(石英製)

型番 商品名 サイズ(mm) 価格(税込) 販売価格(税込) 納期
TSPJ-70-100 2インチウェハ用研磨治具 リング台座:外径100x内径70xH30
加重棒 :外径70xH45
445,500円 356,400円 1.5ヵ月

3,4インチウェハ用もお見積もりいたします。

特徴

  • 半導体ウェハ、ガラス基板などの表面研磨用で、手作業の最終仕上げに最適です。
  • 不純物が少ない合成石英ガラス(純度6N:但しOH基を除く)材料を使用しております。
  • 加重棒は上下面光学研磨仕上げで、平行度の精度は10ミクロン以下です。
  • リング台座は上下面光学研磨仕上げで、底面は凹凸形状で研磨材の逃げ溝を設けてあります。
  • 特殊サイズについても別途ご相談いたします

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